Галперин В. А. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин ; под ред. С. П. Тимошенкова и Ю. Н. Коркишко. — 2009. — 300 с. : ил. — (Нанотехнологии).

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультра сверхбольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.

Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Физико-химические основы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие для вузов : в 2 т. / под общ. ред. Ю. Н. Коркишко.

Т. 1. — Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. — Физико-химические основы технологии и микроэлектроники. — 300 с. : ил. — 2009.
Т. 2. — М. В. Акуленок, В. М. Андреев, Д. Г. Громов и др. — Технологические аспекты. — 240 с. : ил. — 2010.

Изложены физико-химические основы технологии микроэлектроники. Дана классификация технологических процессов. Сформулированы критерии, определяющие характер их протекания и качество изделий. Особое внимание уделено процессам эпитаксии, получения тонких пленок, сварки и пайки, механической обработки, очистки поверхности материалов, а также легирования, модифицирования и фотолитографии. Рассмотрены механизмы воздействия электрических полей и излучений на некоторые из этих процессов. Разделение книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, при этом каждый из томов может представлять вполне самостоятельный интерес.

Для студентов, изучающих технологию микроэлектроники и радиотехнических микроэлектронных устройств, аспирантов и специалистов.

Наножидкости. Наука и технология / под ред. С. К. Дэс и др. ; пер. с англ. — 2009. — 517 с. : ил. — (Нанотехнологии).

Предпосылкой написания книги послужила потребность обобщения результатов многочисленных исследований наножидкостей (то есть жидкостей с диспергированными частицами с размерами не более 100 нм и их концентрациями не более нескольких процентов). Детально описаны способы получения, свойства и основные характеристики этих перспективных материалов (теплоперенос, конвекция, кипение), рассмотрены химические и физические методы их получения и стабилизации. Упорядочена терминология, используемая в публикациях по этой тематике. Отдельная глава посвящена перспективам применения наножидкостей в охлаждающих системах промышленных и бытовых машин и агрегатов, в компьютерных и лазерных технологиях.

Для студентов и аспирантов технических специальностей вузов, специалистов в области синтеза и применения гидрозолей и суспензий и, особенно, процессов теплопереноса в них.

Зебрев Г. И. Физические основы кремниевой наноэлектроники : учебное пособие для вузов / Г. И. Зебрев. — 2009. — 240 с. : ил. — (Нанотехнологии).

Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм.

Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».

Получение и исследование наноструктур: лабораторный практикум по нанотехнологиям / под ред. А. С. Сигова. — 2009. — 160 с. : ил. — (Нанотехнологии).

Представлены описания лабораторных работ для студентов технических университетов, специализирующихся в области нанотехнологий. В ходе выполнения данного практикума учащиеся познакомятся с некоторыми методами получения наночастиц и нанокомпозитов, обучатся приёмам работы с объектами нанометрового размера, овладеют современными физико-химическими методами и инструментарием нанотехнологий.

Для студентов, аспирантов, докторантов, преподавателей классических, педагогических и технологических университетов, а также для широкого круга специалистов, работающих над проблемами разработки и применения нанотехнологий.

www.lbz.ru